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Séminaire de Emmanuel Gardés
7 mai 2019 à 14 h 00 min - 17 h 00 min
Du millimètre au nanomètre, de la 2D à la 3D, avec le microscope électronique-ionique MEB-FIB
Emmanuel Gardés, Centre de recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique (CIMAP), Bd Henri Becquerel, 14070 Caen cedex 5, France, gardes@ganil.fr
Le microscope électronique-ionique MEB-FIB est un microscope électronique à balayage doté d’un canon à ions en plus du canon à électrons. Au-delà des caractérisations MEB conventionnelles, l’abrasion par faisceau d’ions focalisé (FIB) permet, par exemple :
– d’accéder à un échantillon en profondeur et ainsi le caractériser en 3D,
– d’extraire des lames minces dans des sites spécifiques pour la microscopie en transmission,
– de faire des sections polies aux ions là où le polissage mécanique s’avère délicat voire impossible,
– d’usiner un échantillon à l’échelle micrométrique à nanométrique.
Je présenterai quelques travaux réalisés avec le MEB-FIB du CIMAP, avec notamment la fusion partielle du manteau pour application.
