MEB-FIB
Description
La plateforme CarMa comprend un Helios 5 PFIB CXe (Thermofisher), microscope à balayage électronique à émission de champ (FE SEM) à très haute résolution (XHR) avec un faisceau d’ions focalisé à plasma inductif (ICP) pour la préparation d’échantillons in situ, l’imagerie haute résolution et l’analyse chimique semi-quantitative. Ses principales caractéristiques sont :
– Optique électronique XHR (lentille à immersion magnétique) avec source d’électrons à très haute luminosité équipée d’un monochromateur pour réduire la propagation de l’énergie du faisceau en dessous de 0,2 eV avec possibilité de décélération du faisceau d’électrons pour de meilleures performances à faible tension. Il permet ainsi d’atteindre résolution maximale nanométrique (selon le spécimen)
– Colonne ionique PFIB (faisceau ionique focalisé par un plasma xénon) permettant des énergies d’atterrissage entre 0,5 et 30 kV selon une large gamme de courant de faisceau (1 pA à 2,5 μA en 14 étapes)
– Platine porte-échantillon eucentrique de haute précision à 5 axes et un nano-manipulateur
– Système de distribution de gaz MultiChem (Pt, W & C)
– Un panel de détecteurs pour de l’imagerie en en électrons secondaires (ETD, TLD, ICE), rétrodiffusés (CBS, ETD, TLD, ICE) ou en transmission BF, DF, HAADF (STEM) et pour de l’analyse chimique semi-quantitative (SDD 100 mm² et FlatQuad 4×15 mm² à très grand angle solide pour une excellente résolution spatiale et un grand signal en entrée
L’instrument est monté sur une plateforme antivibratile suspendue par 4 isolateurs pneumatiques pendulaires à membrane BiAir 1-ED-PAS pneumatique et isolé de champ magnétique par un système de compensation de champ magnétique Fast-MR3.
Applications
Notre instrument et notre expertise s’appliquent à l’étude texturale et chimique de nombreux matériaux solides issus de domaines de la géologie, de la géotechnique, de l’industrie minérale, de la chimie, de la mécanique et sous forme de matériaux cristallisés ou vitreux, naturels ou synthétiques. Nos services sont ouverts aux acteurs académiques et industriels. Pour davantage d’information, contactez-nous !
Contacts
Mickael LAUMONIER, Emmanuel GARDES
Laboratoire Magmas et Volcans, 6 avenue Blaise Pascal, Campus des Cézeaux / 63178 AUBIERE CEDEX
MEB
Le MEB JEol 5910 est en cours de réinstallation et sera à nouveau disponible début février.
Contacts : Mickael Laumonier, Emmy Voyer
